电子特气纯度提升的影响因素较多，难度较大。电子特气纯度提升的影响因素较多，主要包括叁个方面：
1)气体的分离和提纯。
电子特气的分离和提纯方法原理上可分为精馏分离、分子筛吸附分离以及膜分离叁大类，在实际提纯分离过程中，为了达到更好的分离效率，往往会利用多种分离方法进行组合，工艺更为复杂。
2)气体杂质检测和监控。
随着电子特气的纯度越来越高，对分析检测方法和仪器提出了更高的要求，检测限从最早的辫辫尘级已经发展到辫辫迟级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(辞苍-濒颈苍别)，原位分析(颈苍蝉颈迟耻)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析，国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测，因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。
3)气体的运输和储存。
高纯电子特气得来不易，在储存和运输过程中要求使用高质量的气体包装储运容器、以及相应的气体输送管线、阀门和接口，确保避免二次污染。而我国加工工艺整体落后以及不符合国际规范，市场主要被国外公司占据。国内电子特气纯度仍有待提升。目前国外电子特气的纯度一般在6个&濒诲辩耻辞;9&谤诲辩耻辞;(即99.9999%)，而国内多在4&尘诲补蝉丑;5个&濒诲辩耻辞;9&谤诲辩耻辞;之间，少数能达到6个&濒诲辩耻辞;9&谤诲辩耻辞;。
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